激光干涉儀的工作原理
點擊次數：2619 更新時間：2018-07-16
高精度激光干涉儀具有豐富的模塊化組件，可根據具體測量需求而選擇不同的組件，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點，結合不同的光學鏡組，可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
多普勒效應（Doppler Effect）: 任何形式的波傳播，都是由于波源、接收器、傳播介質或中間反射器的運動，會使頻率發生變化的現象。這種因多普勒效應所引起的頻率變化稱為多普勒偏移或頻移（Doppler Shift）, 其頻移大小與介質、波源和觀察物的運動有關。XL 激光頭射出的頻率為 f0, 經過反射鏡反射回來到激光頭內的探測器，當反射鏡不動時，其反射波頻率 fr= f0。當反射鏡以 v=dx/ dt的速度沿線性軸遠離或者靠近激光頭時，因為光程增加或減少了 2vt，反射波 fr的數值會減少或增加 2v /λ0，λ0為激光波長。
通常將反射鏡設定為移動光學部件，將干涉鏡設定為靜止部件。二者可以反過來，但是大測量距離將減少一半。因此，在超過 40m 行程的長軸上測量時，必須線性干涉鏡靜止不動，而另一個反射鏡移動。而對行程小于 40m 的軸進行測量時，為了方便測量，可以線性干涉鏡移動，也可以反射鏡移動。
